프롬프트 설명

실험 절차를 보여주는 순서도를 생성합니다. TiCl4 2.3 mL를 에탄올 용액 10 mL에 첨가하고 2시간 동안 용액을 교반합니다. 교반 과정에서 16.8 g의 요소를 첨가하여 균일한 전구체 용액을 얻습니다. 전구체를 N2 분위기 하에서 관상로에서 열분해하여 TiN 다공성 세라믹을 제조합니다. 소결 온도는 800℃, 승온 속도는 10 K/min, 유지 시간은 5시간으로 설정합니다.