Promptの説明

実験手順を示すフローチャートを作成してください。2.3 mLのTiCl4を10 mLのエタノール溶液に加え、溶液を2時間撹拌します。撹拌中に16.8 gの尿素を加えて、均質な前駆体溶液を得ます。前駆体を管状炉内でN2雰囲気下で熱分解し、TiN多孔質セラミックスを調製します。焼結温度は800℃、昇温速度は10 K/min、保持時間は5時間に設定します。